科学家精神是指科学家在科学研究中所体现出来的为人类进步、科技创新、国家强盛和社会发展的精神力量。

尹志尧，中国半导体设备专家，中微半导体设备公司（AMEC）创始人及董事长，“中国刻蚀机之父”。

来源：伊历史

20年前，我们从一张白纸，筹划实现高端芯片设备的宏伟梦想。我们一次次冲破险阻而立于不败之地，这一切都源自我们“攀登勇者，志在巅峰”的雄心壮志和“自强不息，厚德载物”的团队奋斗精神！

                                          ——尹志尧

尹志尧先生生平

尹志尧青年时期

1968-1978年，供职于兰州炼油厂、中科院兰州物理化学所。

1978-1980年，在北京大学化学系攻读硕士。

1980年，前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学，并获得物理化学博士学位。

1984年，在硅谷Intel公司、LAM研究所、应用材料公司等电浆蚀刻供职16年。尹志尧曾发起硅谷中国工程师协会并担任主席。

2004年，在上海创办中微半导体设备公司（AMEC）创始人，尹志尧担任公司董事长兼总裁。

中微半导体设备公司

2021年，来到中国科学技术大学，带来《数码时代的基础——微观加工设备产业的发展趋势、挑战和机遇》的主题报告；同年，担任中微公司总经理。

2025年1月，任中微半导体设备（上海）股份有限公司代理董事会秘书。4月17日晚间，中微公司发布了2024年度财报，显示公司尹志尧已放弃美籍，恢复了中国籍。

十年磨剑 科技报国

尹志尧1944年出生于北京的一个世家，他的父亲是留日回国报效的电化学专家。在这样的家庭熏陶下，他从小就对科学充满兴趣。1962年，他考入中国科学技术大学化学物理系，毕业后在兰州炼油厂和中科院兰州物理化学所工作了近十年。1978年，他考入北京大学化学系攻读硕士，1980年前往美国加州大学洛杉矶分校留学，获得物理化学博士学位。

在硅谷的20年里，尹志尧先后在英特尔、泛林半导体、应用材料等国际巨头工作，从工程师一步步晋升为公司高管，成为半导体设备领域的领军人物。他参与并领导了集成电路设备业界一半以上成功的等离子体刻蚀设备开发，拥有86项美国专利和200多项国际专利，被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。

尹志尧活动照

按道理讲，尹志尧完全可以在硅谷养老舒舒服服过日子，但他的心里始终装着一件事：美国技术再强，那也是美国的，和咱们中国有什么关系？直到2000年，他在一次展会上遇到了老同学江上舟。江上舟的一句话点醒了他：“外国人用刻蚀机卡我们的脖子，咱们自己啥时候能造出来？”

这句话成了尹志尧人生的转折点。2004年，60岁的尹志尧做出了一个重大决定——回国创业。他带领15名专业人才在上海浦东金桥创办了中微半导体设备公司。当时，中国的半导体刻蚀机技术还远远落后于国际先进水平，市场被国外巨头垄断。

尹志尧深知，要想改变这一局面，必须依靠自主创新。他带领团队对国外对手的3000多个专利进行了充分研究，在设计开发设备产品时，确保有自主的创新性。

尹志尧获得2021年年度科创领军者

可能注资的机构和企业，却屡屡碰壁。无奈之下，他只好求助于硅谷，靠着硅谷风投机构的资金撑过了最难的阶段。

2007年，中微团队研发出了第一代介质刻蚀机，其独特的双反应台设计，效率比国外同类产品高出30%以上。这一成果让中微公司在半导体设备领域崭露头角。然而，随着中微公司的产品逐渐进入市场，尹志尧遭到了前东家应用材料和泛林公司的专利诉讼。面对这些诉讼，尹志尧毫不退缩，他带领中微公司聘用了美国一流的律师，用两年半的时间和2500万美元的律师费，彻查了600万件内部文件，证明了自己的清白，最终和应材和解。对于泛林公司的诉讼，中微公司反诉其专利无效，最终也让泛林公司败兴而归。

经过多年的努力，中微公司的刻蚀机技术已经与世界最前沿技术比肩。目前，尹志尧的团队已开发出生产7nm到5纳米器件的设备，在全球半导体设备市场中占据了一席之地。

尹志尧活动照

多年来，尹志尧一直保留着美国国籍。然而，随着美国对中国半导体行业的打压不断加剧，特别是2022年10月美国出台的对华出口管制措施中的“美国人”条款，让尹志尧面临了新的抉择。

这一条款规定，未经许可的“美国人”不得支持中国境内半导体制造设施的开发或生产。这意味着，如果尹志尧保留美国国籍，他可能无法继续主导中微公司的技术研发，这对公司的发展将产生重大影响。

在这种情况下，2025年4月17日晚，中微公司发布了2024年年报，其中最引人瞩目的消息莫过于公司创始人、董事长兼首席执行官尹志尧已放弃美国国籍，恢复为中国国籍。

2024年AMEC年度报告显示尹志尧已恢复中国国籍

杨立铭，理论物理学家，中科院数学物理学部院士，我国原子核理论研究的开拓者和奠基人之一。  

人生的道路常常是曲折的，但只要有一颗向往科学的心，就能在前进中不断调整方位，扬长避短，走上有益于社会与人民的道路。

                                          ——杨立铭

杨立铭先生生平

1919年2月5日，杨立铭出生于南京市溧水区。他从小勤奋好学，成绩优异。在他上高中的时候，日本侵略军占领了他的家乡。经过半年的颠沛流离，他逃难到了四川。国家和民族的屈辱，坚定了他工业救国的决心。

1938年毕业于合川国立二中后被保送进中央大学时，他选择了机械系。

1942年，杨立铭于中央大学毕业，在昆明中央机械厂工作一年，又回到中央大学机械系当助教。

1944年，杨立铭通过留学生考试，1945年被公派到英国学习。在英国一家工厂实习时，他曾帮助该厂解决了刀具设计方面的一个难题，使该厂不再从美国进口这方面的产品。

1946-1949年，杨立铭毕业于英国爱丁堡大学研究院，获博士学位。

杨立铭（右）和程开甲在英国爱丁堡大学获博士学位时的合影

杨立铭（左）在80寿辰庆祝会上与夫人夏培肃留影

工业救国 广栽博种

1919年，杨立铭出生于江苏省溧水县一个清贫的知识分子家庭。高中时期，他的家乡不幸被日本侵略者占领，家人不得不背井离乡，逃往大西南。在四川求学时，杨立铭所在的中学又遭日本飞机轰炸，老师不幸在爆炸中丧生。这段经历让杨立铭深感痛苦与震撼，他意识到日本之所以敢如此肆无忌惮地欺凌中国，是因为他们拥有强大的工业实力。面对国家的屈辱和民族的苦难，杨立铭在心中默默立下誓言，要学习工程，以工业来拯救国家。1938年，凭借优异的成绩，杨立铭获得了重庆中央大学的保送资格，他毫不犹豫地选择了机械系，踏上了工业救国的道路。

然而，杨立铭的爱好不是工程而是数理。大学毕业后，在昆明中央机械厂工作的一年经历，让杨立铭更加明确改学数理的决心。他随后返回母校任机械系助教，同时旁听和自学数学和物理课程。在这个过程中，杨立铭结识了志同道合的夏培肃，两人均怀揣工业报国的梦想，相互激励、共同前行，后与夏培肃在爱丁堡喜结连理。

杨立铭与夏培肃

在爱丁堡大学，杨立铭师从当代物理学巨匠、量子力学创始人之一——玻恩教授。杨立铭以超人的毅力，在很短的时间内打下了全面、坚实的理论基础，于1948年底顺利获得了爱丁堡大学的理论物理博士学位，并继续留在玻恩身边担任研究助理。在此期间，杨立铭开始在国际理论物理学界崭露头角，许多研究成果得到了国际同行的认可。他从运动方程出发，首次导出动量在坐标表象中最普遍的表达式和量子条件，被多名外国科学家借鉴运用；他在量子场论研究中导出的狄拉克矩阵求迹的普遍公式，也被部分专著作为定理收录；他在玻恩教授的启发下，成功解释了当时刚发现的原子核中的幻数，引起国际学界重视；他把Born-Green液体理论推广到了混合液体，并在统计描述下对流体内单个分子进行追踪，导出了扩散系数。

玻恩高度评价了他的这位中国弟子，对杨立铭学术成就的评价之高甚至超过他亲手指导出来的最得意的博士门生之一——戈佩特·迈耶。杨立铭攻读博士学位期间发表的重要文章，几乎都是在玻恩的帮助下完成的。当杨立铭决定回国后，玻恩同样表达了充分的理解和支持，并写信给他的中国大弟子彭桓武和周培源先生进行推荐。在给周培源的信中，玻恩将杨立铭描述为“一个最有天赋、最勤奋并认真尽责的人”。

程开甲（后左1）与玻恩（前右1）、杨立铭（后中）的合影

1949年10月，新中国成立，身在异国他乡的杨立铭夫妇心情十分激动，彻夜难眠，归心似箭。1950年冬，周培源赴英访问，并到爱丁堡大学拜访了玻恩教授，向杨立铭、夏培肃夫妇发出了回国工作的盛情邀请。多年以后，杨立铭仍能清楚地记起当年的心情：“当时我们已有较好的工作待遇，但作为中国人，我们想一定要回祖国参加建设。何况当时解放不久，百废待兴，迫切需要专业人才。至于回国后的工作条件、生活条件我们没有特殊要求，只认为我们已具备了必要的专业基础和科研经验，可以在任何地方独立开展工作。现在正是我们报效祖国的时候。于是我们于1951年秋登上了回国的客轮，从此开始了我们生命中新的一页。”

回国后，杨立铭先到清华大学物理系工作，1952年院系调整后到北京大学物理系。用杨立铭自己的话说，他回国后的科研工作与之前有了很大的不同。如果把在英国时期的工作比作“游击战”，那么回国后的工作就是“攻坚战”。杨立铭专注于原子核理论方面，特别是核多体理论与核集体运动。并且他的工作都是与国际上核物理的新发展相呼应的。

20世纪50年代末期，国际上出现了Brueckner理论，它是核多体理论的重要发展。杨立铭通过对核内多次散射的分析导出了这一理论。60年代，超导体的“对关联”理论在原子核中的应用促进了原子核理论的又一次重要发展。杨立铭在1964年提出了处理变形核中核子对相互作用的新方法。这个方法在有关计算中得到了大量的应用。从70年代起，杨立铭开展了原子核集体运动的微观研究。为了深化对原子核低激发区运动规律的认识，杨立铭提出了系统的IBM微观理论。后来，他又对该理论进行了扩展，成功地处理了满壳核附近原子核的闯入态。该理论于80年代发表后，受到国际同行的高度重视和赞赏。

杨立铭伏案工作

回国后的前几年，为了满足国家原子能事业的需要，杨立铭把绝大部分时间都花在了培养青年教师和研究生上。他在教学工作中尽心尽力，先后讲授了原子物理学、量子力学、群论和原子核物理等课程。还在20世纪50年代末，和于敏院士合作举办全国范围的核物理讲习班。他们合著的《原子核理论讲义》是我国最早的原子核理论教科书，已成为一部经典教材。

杨立铭培养了大批理论物理和原子核理论的高水平人才，其中博士、硕士研究生30余名，分布在全国各地，成为各单位的业务骨干。杨立铭在带领年轻人开展研究工作时，总是充分发扬学术民主，以平等的身份开展学术讨论，鼓励年轻人虚心学习别人的长处，充分发挥自己的聪明才智。晚年的杨立铭曾感慨：“当我发现我国核物理界的很多骨干都是我的学生，这对我是莫大的安慰，回国前的愿望果真实现了。”

杨立铭作学术报告

科学无国界，科学家有祖国。一代又一代中华儿女用实际行动谱写着爱国奉献的华章，他们向世人证明：个人的荣光当与祖国的命运紧密相连。正是在无数像尹志尧这样的归国奋斗者的努力下，中国的半导体产业正崛起于世界东方，中国的科技创新事业正迈向新的辉煌。爱国，是他们永不改变的初心；强国，是他们矢志不渝的追求。

杨立铭本可在海外享受优渥生活，却选择回到一穷二白的祖国，用三十年讲台生涯为共和国培养出第一批原子能人才。没有镁光灯与鲜花，他穿着洗旧的布衫，啃着冷馒头，将一生心血化作教科书上的公式、实验室里的数据。如今中国科技腾飞的星河中，仍闪耀着他亲手点燃的星火。真正的科学家，永远把国家需求写在个人荣辱之前。

党的二十大报告中提出，“建设科技强国，必须弘扬创新文化，树立科学家精神”。这明确指引了科学家精神在新时代背景下的重要性，特别是在推动中国从科技大国向科技强国转型的过程中，科学家精神为实现中华民族伟大复兴的“中国梦”提供了强大的精神动力。

资料综合整理自：

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来源/编辑：文化宣传办     

审核：吴晓琳