深圳先进电子材料国际创新研究院拟对“步进式投影曝光机”项目进行采购，现将需求公示如下：
（一）项目基本信息
项目名称：步进式投影曝光机
是否接受进口设备：是
（二）采购需求概况
采购此设备用于光刻材料的验证，用于高效、制程化、标准化的制备微米级的光刻图案，制备RDL线路以及各种工艺线路。
采购内容和数量：光刻机主体系统一套，包括硅片自动传输模块，光学对准模块以及光学系统（配IGH光线）；边缘曝光以及边缘保护系统一套；环境减震系统一套；主控计算机一台；控制软件一套。
简要技术需求：1：分辨率1um; 2:可兼容8寸/12寸晶圆；3.自动光刻实验操作，4:兼容I，G，H线光源。
（三）公示期限（不少于三个工作日）
2020年11月13日至2020年11月18日
任何供应商、单位或者个人对公示内容有异议的，请在公示期内以书面形式将意见反馈至采购人、同级财政部门。
（四）采购单位联系方式
采购单位：深圳先进电子材料国际创新研究院
联系人: 姜老师
联系方式：0755-86392103
附件：【腾讯文档】供应商信息表https://docs.qq.com/sheet/DQVlMeW5WUmFzU3lO，请自行下载。